龙门工业显微检测

谱华森生物科技LMM龙门显微检测设备,专门针对大尺寸晶圆、PCB板、工业板材等材料表面微观缺陷设计的大型龙门结构三维扫描装置,具备大范围对焦跟踪扫描、落射/透射偏光成像等功能,采用龙门双驱结构实现高精度扫描,支持超大图像拼接预览。

产品特性:

项目参数
行程(mm)最大支持500mm
电机类型伺服/直线电机
重复定位精度(μm)±1
最大速度(mm/s)50
物镜个数5个,最高支持50倍物镜
扫描速度最快支持70帧/秒
图像处理支持超大图像拼接,快速预览

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